Hello friends,
I'm working on the partial coherence calculation of a micro lens array(MLA) based system, and first I need to know the NA of the rectangular beam. Conventionally, the beam is a circular one, but when the Kohler integrator is applied the beam is a rectangular one. In this case, how can we calcuate the NA of the Fourier lens?
NA'sı boyutları birbirine eşit ise küp formülü a^3,farklı ise dikdörtgenler prizması formülü a.b.c uygulanır.
For NA, dimensional cube for a3, rectangular prisma for a. b. c, square for a2. b application
aynı görüntü lensin diğer tarafında oluşarak birbirini tamamlar. Oluşan şekil küp, dikdörtgenler prizması veya kare prizma uygulanır. Bu yüzden küp için a^3, prizma için a.b.c ve a^2.b uygulanır.
Hi Sukru,
Lately, I've been reading the "Effect of partial coherence on dimensional measurement sensitivity for DUV scatterfield imaging microscopy",doi:10.1364/OE.27.029938, the authors modify the illumination NA by controlling the CBFP aperture, but I can't find the way to calculate the NA when the aperture is rectangular.
NA and sigma for, (2,4) angle =10,(4,6) angle =20.( tall dimensional and tiny dimensional)
For example rectangular NA=0.37 and sigma=0.5 application.
- Badges
- Science topic
- Similar topics
- Analytical Chemistry
- Extraction