Why Leakage current (Ices) becomes so high after laser annealing? Does anyone know the reason? Can it be due to generation of defects using Laser annealing compared to the conventional furnaces?
IGBT levhalar ince bir yapıya sahip oldukları için katmanlar arasında herhangi bir kusur olduğu zaman levha zeminine gelen dalga kılavuzu hasar bırakır. Tavlama sırasında kimyasal olay meydana gelir. Dalga kılavuzu mikro dalgalar vb. dalga yayar. Tavlanmış zeminde kusur olması tavlama sırasında buzlanmaya neden olur. Buzlanmanın nedeni tavlama sırasında ışık ışınlarının malzeme kusurlarından dolayı ortamda bulunan gazlar vb. maddelerle tepkime vermesidir.